沿介質表面的電場強度達到其擊穿場強時產生的局部放電稱為表面局部放電。它主要存在于不均勻的電場中，比如電極邊緣處。在對稱系統中，一般情況下電場分布是對稱的，即兩個電極邊緣場強是一樣的。因此產生放電的概率基本相同，放電的圖形也是基本對稱的，即正負兩半波的放電波形基本相同。

在不對稱系統中，例如表面局部放電時只發生在一個電極的邊緣，那么放電波形就不是對稱的。如圖，產生邊緣放電的電極處于交流工作電壓時，正半周出現的脈沖群大而稀，負半周出現的脈沖群是小而密。這主要是因為導體在負極性時容易發射電子，正離子撞擊陰極同時發射二次電子，使得電極周圍氣體的起始放電電壓降低，因而放電脈沖數多但放電量小。如果放電的電極接低壓端，不放電的電極接高壓端，則放電波形的極性也隨之反向，變成負半周出現的脈沖群大而稀，正半周出現的脈沖群小而密。

表面局部放電波形